儀器優(yōu)點(diǎn)：
（a）分析速度高。測(cè)定用時(shí)與測(cè)定精密度有關(guān)，但一般都很短，2～5分鐘就可以測(cè)完樣品中的全部待測(cè)元素。
（b）X射線熒光光譜跟樣品的化學(xué)結(jié)合狀態(tài)無關(guān)，而且跟固體、粉末、液體及晶質(zhì)、非晶質(zhì)等物質(zhì)的狀態(tài)也基本上沒有關(guān)系。（氣體密封在容器內(nèi)也可分析）但是在高分辨率的精密測(cè)定中卻可看到有波長(zhǎng)變化等現(xiàn)象。特別是在超軟X射線范圍內(nèi)，這種效應(yīng)更為顯著。波長(zhǎng)變化用于化學(xué)位的測(cè)定。
（c）非破壞分析。在測(cè)定中不會(huì)引起化學(xué)狀態(tài)的改變，也不會(huì)出現(xiàn)試樣飛散現(xiàn)象。同一試樣可反復(fù)多次測(cè)量，結(jié)果重現(xiàn)性好。
（d） X射線熒光分析是一種物理分析方法，所以對(duì)在化學(xué)性質(zhì)上屬同一族的元素也能進(jìn)行分析。可分析的元素范圍從Na到U。WTH2000型的元素分析范圍是Na到U，含量范圍為10PPm～100％。因此該法已用于銅合金、鎳合金中高含量Cu、Ni的分析.
（e）分析精密度高。WTH－2000型的分析精度達(dá)0.1％，檢出限可達(dá)10ppm。
（f）制樣簡(jiǎn)單，固體、粉末、液體樣品等都可以進(jìn)行分析。