該立式化學(xué)氣相沉積爐可用于以硅烷為氣源的材料表面抗氧化涂層、基體改性等。

技術(shù)特征
采用先進(jìn)的控制技術(shù)，能精密控制MTS的流量和壓力，爐膛內(nèi)沉積氣流穩(wěn)定，壓力波動(dòng)范圍小；
采用特殊結(jié)構(gòu)沉積室，密封效果好，抗污染能力強(qiáng)；
采用多通道沉積氣路，流場(chǎng)均勻，無沉積死角，沉積效果好；
對(duì)沉積產(chǎn)生的高腐蝕性尾氣、易燃易爆氣體、固體粉塵及低熔點(diǎn)粘性產(chǎn)物能進(jìn)行有效處理；
采用*新設(shè)計(jì)防腐蝕真空機(jī)組，持續(xù)工作時(shí)間長(zhǎng)，維修率極低。

主要配置
爐門：絲杠升降/液壓升降/手動(dòng)升降；手動(dòng)鎖緊/自動(dòng)鎖圈鎖緊
爐殼：全碳鋼/內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼
爐膽：軟碳?xì)?軟石墨氈/硬質(zhì)復(fù)合氈/CFC
加熱器、馬弗：等靜壓石墨/模壓三高石墨/細(xì)顆粒石墨
工藝氣路系統(tǒng)：體積/質(zhì)量流量計(jì)；手動(dòng)閥/自動(dòng)閥；進(jìn)口/國(guó)產(chǎn)
真空泵和真空計(jì)：進(jìn)口/國(guó)產(chǎn)
PLC：歐姆龍/西門子
控溫儀表：日本島電/英國(guó)歐陸
熱電偶：C分度號(hào)/S分度號(hào)/K分度號(hào)/B分度號(hào)
記錄儀：無紙記錄儀/有紙記錄儀；進(jìn)口/國(guó)產(chǎn)
人機(jī)界面：模擬屏/觸摸屏/工控機(jī)
電器元件：正泰/施耐德/西門子